1. 고성능 필터의 특성
청정도가 높은 필터는 정압손실이 크고 팬동력은 증가가 발생하게 됩니다. 필터의 종류는 크게 건식유닛형, 고성능필터, 전기집진필터, 가스제거용필터가 있습니다. 건식유닛형에는 Pre-Filter(Panel형, Roll형)과 중성능(주머니 W형)필터가 있으며, 고성능필터에는 ULPA(Ultra Low Penetration Air)와 HEPA(High Effiency Particle Air) Filter가 있습니다. 이중 ULPA Filter는 먼지, 세균, 꽃가루, 곰팡이 등 0.12um 이상의 유해입자를 99.999% 제거할 수 있는 성능을 가집니다.

(1)ULPA Filter
0.12~0.17 um의 99.9995% 집진효율을 나타내며, Clean Room Class 1~100용 제품으로 사용됩니다. 반도체, LCD제조라인의 Clean Room에 주로 적용됩니다.


(ULPA Filter 두께에 따른 Surface Velocity-Pressure Drop)

(2)HEPA FILTER
0.3 um 입자제거용으로 99.97%의 포집효율을 나타내며, Clean Room Class 10~1000에 사용됩니다. 반도체, 전자관련 제조라인의 Clean Room과 Clean Bench에 사용됩니다.


(HEPA Filter의 두께에 따른 Surface Velicity-Pressure Drop)

(3)Pre-Filter(전처리필터)
Glass Fiber로 제조되며 중량법 75~85%의 포집효율을 나타냅니다. 운반과 보관이 용이하며, 전자부품, 병원과 식품제조공정의 전처리용 필터로 이용됩니다.

(4)Activated Carbon Filter(활성탄소필터)
(Acvated Carbon Filter)
(Activated Carbon:활성탄소)
화학물질의 흡수와 오염입자의 제거를 위하여 활성탄소를 사용하여 여과하는 방법입니다. 제조공정이나 실험중 발생하는 가스, 연무, 화학성분의 제거에 효과적인 성능을 나타냅니다.
 

2. Air Filter의 성능측정방법 및 Filter의 성능표시방법
Air Filter는 공기중 오염제거장치 성능은 압력손실, 분진포집율, 분진의 중량으로 나타낼 수 있습니다. 성능측정법에는 중량법(AFI법), 비색법(NBS법), 계수법(DOP법)이 있습니다.