Clean Room Class

1. 과거 크린룸의 규격은 대부분 미국과 일본의 규격을 인용한 것으로 통상 미국의 규격을 사용하였으나 현재 ISO 14644의 국제규격으로 통일되어 적용됩니다. 크린룸관련 국제규격은 다음과 같습니다.
(1)한국 KS M ISO 14644-1~5
(2)미국 - 산업용크린룸 규격: FEDRAL STANDARD 209E
        - 바이오 크린룸 규격: NASA NHB 5340.2
(3)일본 JIS B 9920, JACA No.24
(4)국제규격 ISO 14644

2. 기타 한국 공업규격
KS A 0090 : 시험용 분체 및 시험용 입자
KS A 0701 : 소음도 측정방법
KS B 6336 : 광산란식 자동 입자 계수기
KS M 9900 : 크린룸안에 부유미립자의 농도 측정방법 및 크린룸의 공기청정도 평가방법
KS M 9901 : 클린밴치

3. ISO 14644-1에서 규정하는 공기부유입자에 의한 공기청정도의 분류
※ N : Maximum concentration limits(particles/m3 of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown above



4. 미국 산업용크린룸 규격 FEDRAL STANDARD 209E은 현재 ISO 14644로 통일되어 적용되고 있으며 ISO 규격과 관련하여 국가 규격의 비교는 다음 표와 같습니다.
(1)US Federal Standard 209D (Class란 1 입방 ft내의 공기 체적내에 입경 0.5마이크로 미터 이상의 입자의 수)


(2)US Federal Standard 209E


(3)Comparison of Each Standard



5. US NASA NHB 5340.2에 의한 BIO Clean Room의 청정도 등급



6. 분야별 요구되는 청정도 등급
(1)의료, 제약부분


(2)식품부분


(3)반도체,정밀기계부분